二氧化碳激光加工装置

摘要

本发明为提供能高速进行高精度孔加工的二氧化碳激光加工装置，包括Ｃo₂激光振荡器，旋转动作的反射镜，使通过反射镜而反射、扫描的激光在规定平面上聚焦的光学构件，具有在进行任意孔加工中能达到每秒加工１００个孔以上的加工速度的显著效果。

主权项

1.一种CO2激光加工装置，包括一可发射从被加工物体穿过、完成孔加工的激光束的CO2激光振荡器，为将从该CO2振荡器射出的激光束反射、扫描的一对旋转反射镜，为将被上述一对旋转反射镜反射的激光束在预定的平面上聚焦、从被加工物体穿过、完成孔加工、由锌硒盐制的fθ透镜，以及一控制单元，其特征在于由所述旋转反射镜分别构成检流反射扫描器，由所述fθ透镜构成远心光学系统，所述控制单元基于早先储存的数据控制使所述旋转反射镜旋转、定位在预定位置上、将激光束射入物体的预定被加工部分上进行被加工物体加工，其后、操作该CO2激光加工装置，使从该CO2激光振荡器发射的激光束射入物体的预定被加工部分上。