Coating apparatus and coating method,申请号EP19980103528-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Coating apparatus and coating method
摘要
申请公布号	EP0863538(A3)	申请公布日期	2000.09.06
申请号	EP19980103528	申请日期	1998.02.28
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	FUJIMOTO, AKIHIRO
分类号	H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;B05C11/10;B05B9/04	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
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