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发明名称 METHOD FOR PRODUCING PLASMA BY MICROWAVE IRRADIATION
摘要
申请公布号 EP1032943(A2) 申请公布日期 2000.09.06
申请号 EP19980955327 申请日期 1998.09.15
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 WEBER, THOMAS;VOIGT, JOHANNES;LUCAS, SUSANNE
分类号 H05H1/46;C23C16/511;C23C16/515;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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