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发明名称 MODULAR INTEGRATED CIRCUIT TESTER WITH DISTRIBUTED SYNCHRONIZATION AND CONTROL
摘要
申请公布号 EP1032844(A1) 申请公布日期 2000.09.06
申请号 EP19980955133 申请日期 1998.10.26
申请人 CREDENCE SYSTEMS CORPORATION 发明人 ARKIN, BRIAN, J.;GILLETTE, GARY, C.;CHAN, DAVID
分类号 G01R31/28;G01R31/3183;G01R31/319;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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