发明名称 SOI Substrate formed by bonding
摘要
申请公布号 EP0961312(A3) 申请公布日期 2000.09.06
申请号 EP19990303765 申请日期 1999.05.14
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 SAKAGUCHI, KIYOFUMI;YONEHARA, TAKAO;SATO, NOBUHIKO
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/30 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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