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经营范围
发明名称
SOI Substrate formed by bonding
摘要
申请公布号
EP0961312(A3)
申请公布日期
2000.09.06
申请号
EP19990303765
申请日期
1999.05.14
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
SAKAGUCHI, KIYOFUMI;YONEHARA, TAKAO;SATO, NOBUHIKO
分类号
H01L21/265;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/30
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
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