| 发明名称 |
Static pressure air bearing |
| 摘要 |
In an air pressure bearing having two axes, air exhaust pipes (3) are connected only with the fixed parts (4) of the lower axis. |
| 申请公布号 |
AU3369500(A) |
申请公布日期 |
2000.09.04 |
| 申请号 |
AU20000033695 |
申请日期 |
2000.02.18 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION;TOTO LTD. |
发明人 |
TAKUMA TSUDA;SHINJI SHINOHARA;SHINOBU TOKUSHIMA;YUKIHARU OKUBO;TOSHIMASA SHIMODA;DOUGLAS WATSON |
| 分类号 |
F16C32/06;B23Q1/00;B23Q1/38;F16C29/02;G03F7/20 |
主分类号 |
F16C32/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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