| 主权项 |
1.一种标示缺失晶片之装置,该装置至少包含:一平台用以承载图纸;及一标示装置用以在图纸上标示记号,该标示装置与检视晶片之显微镜同步。2.如申请专利范围第1项之装置,更包含一支撑架用以支撑该标示装置。3.如申请专利范围第1项之装置,更包含一底座用以支撑该支撑架。4.如申请专利范围第1项之装置,更包含一显微镜用以检视该晶圆是否有缺失晶片。5.如申请专利范围第1项之装置,其中上述之平台同时为该显微镜之平台。6.一种标示缺失晶片之装置,该装置至少包含:一平台用以承载图纸﹔一标示装置用以在图纸上标示记号,该标示装置与检视该晶片之显微镜同步﹔一支撑架连接该标示装置与底座;及一底座用以支撑该支撑架。7.如申请专利范围第6项之装置,更包含一显微镜用以检视该晶圆是否有缺失晶片。8.如申请专利范围第6项之装置,其中上述之平台同时为该显微镜之平台。9.一种标示缺失晶片之装置,该装置至少包含:一平台用以承载图纸与晶圆,该平台同时为显微镜之平台;一标示装置用以在图纸上标示记号,该标示装置与检视该晶片之显微镜同步;一支撑架连接该标示装置与底座;一底座用以支撑该支撑架;及一显微镜用以检视晶片。10. 一种在晶片缺失位置标示装置上标示缺失晶片之方法,该晶片缺失位置标示装置至少包含一平台与一标示装置,该方法至少包含:定位使得显微镜下所看到的晶片位置与治具上图纸的位置相同;检视晶圆;遇到缺失晶片时,在图纸上标示记号;及重复上述两步骤到晶圆检视完成。 |
