| 主权项 |
1.一种装载晶圆至水平式石英炉管之装置,该装置至少包含:复数个具有固定螺丝之小平台,用以置放大晶舟,该小平台系以一上下调整杆将其分离;一承载平台,具有复数个固定螺丝及高度调整螺丝,用以承载该大平台,该小平台之高度系以该高度调整螺丝调整使该小平台之高度能与该水平式石英炉管相符;一推车主体,具有复数个支撑柱及复数个定位孔用以承载该大平台及该承载平台,其中该承载平台系装设于该推车主体上并以该复数个支撑柱支撑,该承载平台与该推车主体组合成推车;一对支撑座,于该支撑座之上平面中段各具有一凹槽,该支撑座分别以一固体平板连接,该固体平板之两端分别镶入该凹槽用以支撑该推车;及一对平行滑动轴,用以承载该支撑座,该支撑座被装设于该平行滑动轴上,可沿着该平行滑动轴之轴向做往复之运动。2.如申请范围第1项之装置,其中上述之平台包含:一大平台,被装置于该承载平台上,并利用该复数个固定螺丝固定;复数个小平台,被置于该大平台上,以复数个该固定螺丝固定,用以置放该大晶舟;及一对石英棒,分别固定于该小平台上,避免该大晶舟与该小平台直接接触。3.如申请范围第1项之装置,其中上述之滑动轴承系被切短并被装设于该平行滑动轴上,且其轴心位置高于该滑动轴之轴心。4.如申请范围第1项之装置,其中上述之固体平板包含复数个定位销,用以将该推车定位在该支撑座上。5.一种装载晶圆至水平式石英炉管之装置,该装置至少包含:复数个具有固定螺丝之小平台,用以置放大晶舟,该小平台系以一上下调整杆将其分离;一承载平台,具有复数个固定螺丝及高度调整螺丝,用以承载该大平台,该小平台之高度系以该高度调整螺丝调整使该小平台之高度能与该水平式石英炉管相符;一推车主体,具有复数个支撑柱及复数个定位孔用以承载该大平台及该承载平台,其中该承载平台系装设于该推车主体上并以该复数个支撑柱支撑,该承载平台与该推车主体组合成推车;一支撑座,用以支撑该推车;及一对平行滑动轴,用以承载该支撑座,该支撑座被装设于该平行滑动轴上,可沿着该平行滑动轴之轴向做往复之运动。6.如申请范围第5项之装置,其中上述之平台包含:一大平台,被装置于该承载平台上,并利用该复数个固定螺丝固定;复数个小平台,被置于该大平台上,以复数个该固定螺丝固定,用以置放该大晶舟;及一对石英棒,分别固定于该小晶舟上,避免该大晶舟与该小平台直接接触。7.如申请范围第5项之装置,其中上述之支撑座更包含:一对支撑座,于该支撑座之上平面中段各具有一凹槽,该支撑座分别以一固体平板连接,该固体平板之两端分别镶入该凹槽用以支撑该推车。8.如申请范围第5项之装置,其中上述之滑动轴承系被切短并被装设于该平行滑动轴上,且其轴心位置高于该平行滑动轴之轴心。9.如申请范围第5项之装置,其中上述之固体平板包含复数个定位销,用以将该推车定位在该支撑座上。图式简单说明:第一图为一般水平石英炉管制程设备之示意图;第二图A显示习之具有内管及外管之水平石英炉管的装载区示意图;第二图B为习之石英炉管之剖面图;第三图A为传统推车之俯视图;第三图B为传统推车之剖面图;第三图C为传统推车之仰视图;第三图D为传统推车之右视图;第四图A为传统推车支撑座之俯视图;第四图B为传统推车支撑座之截面图;第四图C为传统推车支撑座之右视图;第五图A为本创作之推车的俯视图;第五图B为本创作之推车的截面图;第五图C为本创作之推车的仰视图;第五图D为本创作之推车的右视图;第六图A为本创作之推车支撑座之俯视图;第六图B为本创作之推车支撑座之截面图;及第六图C为本创作之推车支撑座之右视图。 |
