| 主权项 |
1.一种拿持装置,可用以拿持一晶圆放置盒,该晶圆放置盒之顶部有一十字形横杆,该十字形横杆分隔出复数个开孔,该拿持装置包括:一基座;一握把,垂直连接于该基座之一侧面;以及一分叉卡钳,垂直连接于该基座之相对于连接该握把之该侧面之另一侧面,可用以插入该晶圆放置盒顶部之该些开孔,其中,该基座与该分叉卡钳连接处具有一凹槽,而该分叉卡钳具有一凹下斜面,于该分叉卡钳之中间于下部份,相对于该基座形成一钭面,厚度于接近该凹槽时较厚。2.一种拿持装置,可用以拿持一晶圆放置盒,该晶圆放置盒之顶部具有一十字形横杆,该十字形横杆分隔出复数个开孔,该拿持装置包括:一基座;一握把,垂直连接于该基座之一侧面,可供握持;以及一分叉卡钳,垂直连接至该基座与该握把连接侧面之另一侧面,可用以插入该晶圆放置盒顶部之该些开孔,于该基座连接该分叉卡钳之平面,延续至该分叉卡钳之中间低下部份时,与该基座连接其余部份形成一斜面,即厚度较薄,而于该基座上,与该分叉卡钳连接部份旁具有一凹槽,该凹槽与该分叉卡钳之中间低下斜面,可紧密地拿持该晶圆放置盒。图式简单说明:第一图为晶圆放置盒;第二图为本创作之拿持装置之立体图;第三图a为第一图之正视图;第三图b为第一图之侧视图;第三图c为第一图之上视图;第四图为本创作之使用方法及步骤。 |
