| 主权项 |
1.一种具有二进制图案与相移式图案之混合光罩, 包括: 一线网玻璃; 一相移式图案铬膜,覆盖于该线网玻璃表面上;以 及 一二进制图案铬膜,覆盖于该相移式图案铬膜旁之 该线网玻璃表面上。2.如申请专利范围第1项所述 之具有二进制图案与相移式图案之混合光罩,其中 该混合光罩 更包括至少一光罩对准标记,配置于该相移式图案 铬膜与该二进制图案铬膜之周围,用以做 为该混合光罩之对准用。3.如申请专利范围第1项 所述之具有二进制图案与相移式图案之混合光罩, 其中该混合光罩 更包括一薄膜表层,覆盖于该相移式图案铬膜与该 二进制图案铬膜上,用以防止该混合光罩 表面沾上微粒。4.如申请专利范围第1项所述之具 有二进制图案与相移式图案之混合光罩,其中该线 网玻璃 是一5寸线网玻璃。5.如申请专利范围第1项所述之 具有二进制图案与相移式图案混合光罩,其中该相 移式图案 铬膜的相移图案转换介于0到180之间。6.如申请 专利范围第1项所述之具有二进制图案与相移式图 案混合光罩,其中该混合光罩的 曝光方式系利用扫瞄器。图式简单说明: 第一图绘示的是依照本发明一较佳实施例的一种 具有二进制图案与相移式图案之混合光 罩的示意图;以及 第二图绘示的是本发明之混合光罩的应用示意图 。 |
