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发明名称
DEVICE FOR MAINTAINING TEMPERATURE OF COOLING CHAMBER IN HANDLER
摘要
申请公布号
KR200191946(Y1)
申请公布日期
2000.09.01
申请号
KR19980006618U
申请日期
1998.04.24
申请人
MIRAE CORPORATION
发明人
KIM, IN-SIK
分类号
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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