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发明名称 A CONTROL EQUIPMENT OF VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 KR200193244(Y1) 申请公布日期 2000.09.01
申请号 KR19980009541U 申请日期 1998.06.05
申请人 LEE, SUN-YOUNG 发明人 LEE, SUN-YOUNG
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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