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发明名称 TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号 KR100264444(B1) 申请公布日期 2000.09.01
申请号 KR19940005496 申请日期 1994.03.18
申请人 TOKYO ELETRON TOHOKU LTD;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 NISHI, HIRONOBU
分类号 B65G1/04;B65G1/00;B65G1/07;B65G49/07;C30B25/12;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G1/04
代理机构 代理人
主权项
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