发明名称 DIE CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR200189973(Y1) 申请公布日期 2000.09.01
申请号 KR19950015440U 申请日期 1995.06.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD 发明人 KIM, KANG-SAN
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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