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发明名称 GROWTH OF SILICON SINGLE CRYSTAL FROM MELT HAVING EXTRAORDINARY EDDY FLOWS ON ITS SURFACE
摘要
申请公布号 KR100264459(B1) 申请公布日期 2000.09.01
申请号 KR19960008024 申请日期 1996.03.23
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO., LTD.;JAPAN SCIENCE & TECHNOLOGY CORPORATION;SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LIMITED;NIPPON STEEL CORPORATION 发明人 IZUNOME, KOJI;KAWANISHI, SOUROKU;TOGAWA, SHINJI;IKARI, ATSUSHI;SASAKI, HIROSHI;KIMURA, SHIGEYUKI
分类号 C30B15/00;C30B15/20;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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