DI- OR TRIPHENYL MONOTERPEN HYDROCARBON DERIVATIVES, SOLUBILIZATION INHIBITOR AND CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST MATERIAL,申请号KR19970013001-传众专利搜索

发明名称	DI- OR TRIPHENYL MONOTERPEN HYDROCARBON DERIVATIVES, SOLUBILIZATION INHIBITOR AND CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST MATERIAL
摘要
申请公布号	KR100260856(B1)	申请公布日期	2000.09.01
申请号	KR19970013001	申请日期	1997.04.09
申请人	SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.	发明人	NAGATA, TAKESI;WATANABE, SATOSHI;NISHI, TSUNEHIRO;HATAKEYAMA, JUN;NAGURA, SHIGEHIRO
分类号	C07C43/205;C07C43/30;C07C43/303;C07C43/315;C07C43/32;C07C69/28;C07C69/30;C07C69/712;C07C69/96;C07F7/06;C07F7/08;C07F7/18;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00	主分类号	C07C43/205
代理机构		代理人
主权项
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