| 发明名称 |
Mondstuksamenstel voor een inrichting voor het onder gelocaliseerd vacuüm behandelen van werkstukken. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL193868(B) |
申请公布日期 |
2000.09.01 |
| 申请号 |
NL19840002861 |
申请日期 |
1984.09.18 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
B01J3/00;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):C23C14/56;H01J37/20;B01J3/03;B01J19/12 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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