发明名称 CONSTANT TEMPERATURE CHAMBER IN A HANDLER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100264524(B1) 申请公布日期 2000.09.01
申请号 KR19960032952 申请日期 1996.08.08
申请人 ADVANTEST CORP. 发明人 FUKUMOTO KEIICHI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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