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发明名称 SCHEIBENTRANSPORTSYSTEM
摘要
申请公布号 DE69329107(D1) 申请公布日期 2000.08.31
申请号 DE19936029107 申请日期 1993.12.13
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 MATSUMURA, MASAO;KAJIYAMA, MASAAKI;YOSHIOKA, TAKESHI
分类号 B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68;F24F7/06 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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