| 摘要 |
<p>Beschrieben wird eine Vorrichtung zum Transportieren und gleichzeitigen Kühlen von scheibenförmigen Substraten (5) wie insbesondere spritzgegossene Kunststoffscheiben für optische Datenträger wie CD, DVD oder dergleichen. Als Transportsystem wird ein sogenanntes Walking-Beam-System oder ein sogenannter Airtrack verwendet, die mit speziell gestalteten Trägern (3) für die Substrate (5) ausgerüstet sind. Erfindungsgemäß werden mit Zentrierpins ausgestattete Träger zum Aufnehmen der Substrate vorgeschlagen, die über einen zentralen, vertikal verlaufenden Kanal verfügen, von dem oberhalb und unterhalb des Substrats Abzweigungen radial nach außen abgehen, so daß über den zentralen Kanal zugeleitetes Kühlgas, in der Regel Kühlluft, das Substrat gleichmäßig von beiden Seiten kühlt. Außerdem erhält das Substrat strömungsbedingt einen stabilen Sitz auf den Trägern (3). Beim Walking-Beam-System sind die zentralen Kanäle der Träger (3) mit einer an eine Luftzuführeinheit angeschlossenen Sammelleitung verbunden. Beim Airtrack-System verläuft der Kanal bis zu dem Luftkissen unter dem tellerartigen Fuß des Trägers und die Kühlluft wird dem Luftkissen entnommen.</p> |
