Polishing apparatus,申请号US19970923543-传众专利搜索

发明名称	Polishing apparatus
摘要
申请公布号	US6110024(A)	申请公布日期	2000.08.29
申请号	US19970923543	申请日期	1997.09.04
申请人	EBARA CORPORATION	发明人	TOGAWA, TETSUJI
分类号	B24B41/06;B23Q7/04;B23Q7/14;B24B37/04;B24B37/30;B24B41/00;B25J19/00;H01L21/677;(IPC1-7):B24B5/00	主分类号	B24B41/06
代理机构		代理人
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