发明名称 |
Methods of fabricating etched structures |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2450300(A) |
申请公布日期 |
2000.08.29 |
申请号 |
AU20000024503 |
申请日期 |
2000.02.10 |
申请人 |
UNIVERSITY OF BRISTOL |
发明人 |
IAN HUGH WHITE;RICHARD VINCENT PENTY;MICHAEL COWIN |
分类号 |
G02B6/124;G03F7/00;H01L21/027;H01L21/308 |
主分类号 |
G02B6/124 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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