A non-invasive system and method for diagnosing potential malfunctions of semiconductor equipment components,申请号AU20000032253-传众专利搜索

发明名称	A non-invasive system and method for diagnosing potential malfunctions of semiconductor equipment components
摘要
申请公布号	AU3225300(A)	申请公布日期	2000.08.29
申请号	AU20000032253	申请日期	2000.02.08
申请人	SIGNALYSIS, L.L.C.	发明人	ROGER L. BOTTEMFIELD
分类号	G01H1/00;G03F7/20;H01L21/00	主分类号	G01H1/00
代理机构		代理人
主权项
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