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发明名称 Reticle transfer system
摘要
申请公布号 AU2751800(A) 申请公布日期 2000.08.29
申请号 AU20000027518 申请日期 2000.02.02
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 ANTHONY C. BONORA;WILLIAM J. FOSNIGHT;JOSHUA W. SHENK
分类号 G03F7/20;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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