发明名称
摘要
申请公布号 JP3080301(B2) 申请公布日期 2000.08.28
申请号 JP19970118759 申请日期 1997.04.22
申请人 发明人
分类号 C22C30/00;C22C38/00;C22C38/08;H01J9/14;H01J29/07;H01J31/20;H01L23/50;(IPC1-7):C22C38/00 主分类号 C22C30/00
代理机构 代理人
主权项
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