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<p>본 고안은 반도체 제조설비의 유틸리티 라인에 관한 것으로, 상기 유틸리티 라인의 본체(70)와, 상기 본체(70)의 내단부에 설치되어, 내부 순환 냉각수가 유출입되는 냉각 자켓(80)과, 상기 냉각 자켓(80)을 통과하면서 생성된 액체 케미칼(82)이 저장되어, 하부의 유출구(84))를 통해 드레인(86)으로 드레인되는 저장부(90)와, 상기 저장부(90)의 하부에 접속되는 연결관(92)으로 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 고안의 유틸리티 라인에 따르면, 고온의 배가스가 냉각 자켓을 통과하면서 온도차에 의해 급속냉각되어 저장부에 고인 후, 드레인을 통해 배출되므로, 액체 케미칼의 고임에 의한 유틸리티 라인의 부식 및 처짐을 최소로 할 수 있고, 액화된 케미칼의 파우더화를 미연에 방지할 수 있는 효과를 가진다.</p> |
