| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 제조용으로 사용되는 모든 종류의 가스를 사용자가 원하는 유량만큼 흐르도록 정확하게 조절해 주는 역할을 주는 질량유량 제어기에 관한 것으로, 질량유량 제어기의 유입구 측으로부터 유입되는 가스에 포함된 수분 또는 이물질을 제거하기 위한 필터를 포함하는 것에 의해, 수분으로 인한 질량유량 제어기의 오염을 방지하여 프로세스 수율을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 질량유량 제어기의 수명을 연장시킬 수 있다는 효과가 있다.</p> |
