发明名称 Optimierter Randabschluss von Halbleiter-Bauelementen
摘要
申请公布号 DE19881806(D2) 申请公布日期 2000.08.24
申请号 DE19981081806D 申请日期 1998.11.23
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SITTIG, ROLAND;NAGEL, DETLEF;DUDDE, RALF-ULRICH;WAGNER, BERND;REIMER, KLAUS
分类号 H01L29/06;H01L29/40;H01L29/47;H01L29/74;H01L29/78;H01L29/861;H01L29/872;(IPC1-7):H01L29/06 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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