发明名称 METHOD FOR PRODUCING BUILDING COMPONENTS, USE THEREOF, AIRBEARING WORKPIECE AND VACUUM TREATMENT CHAMBER
摘要 <p>Es werden Bauteile hergestellt unter inniger Verbindung, wie beispielsweise unter Bonden, zweier Materialphasen. Es wird die zu verbindende Oberfläche mindestens der einen Materialphase mittels plasmaaktiviertem Gas, das Stickstoff enthält, vorbeihandelt.</p>
申请公布号 WO2000048779(A1) 申请公布日期 2000.08.24
申请号 CH2000000082 申请日期 2000.02.14
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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