发明名称 SPATIALLY UNIFORM DEPOSITION OF POLYMER PARTICLES DURING GATE ELECTRODE FORMATION
摘要
申请公布号 EP1029337(A1) 申请公布日期 2000.08.23
申请号 EP19980936954 申请日期 1998.07.21
申请人 CANDESCENT TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 ELIZONDO, PHILIP, J.;CHAKRAVORTY, KISHORE, K.;CAUDILLO, DAVID
分类号 H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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