| 发明名称 |
GAZ JET PVD METHOD FOR PRODUCING A LAYER WITH MoSi 2? |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1029104(A1) |
申请公布日期 |
2000.08.23 |
| 申请号 |
EP19980961040 |
申请日期 |
1998.10.21 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BEELE, WOLFRAM |
| 分类号 |
F02C7/00;C23C14/06;C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
F02C7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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