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发明名称 Patterning process
摘要
申请公布号 EP0895278(A3) 申请公布日期 2000.08.23
申请号 EP19980112890 申请日期 1998.07.10
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ENGELHARDT, MANFRED, DR.;WEINRICH, VOLKER, DR.
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/033;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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