| 发明名称 | 大面积步进扫描式曝光机 | ||
| 摘要 | 本实用新型设计了一种在不增加有效曝光面积和灯功率的前提下,通过有效曝光区的步进扫描以及边缘递减光校正窗,实现了大面积精密曝光,共特征是在曝光机的光输出窗3下方设置边缘递减光校正窗4;边缘递减光校正窗4为相对平行六面体。 | ||
| 申请公布号 | CN2393123Y | 申请公布日期 | 2000.08.23 |
| 申请号 | CN99229789.3 | 申请日期 | 1999.11.01 |
| 申请人 | 信息产业部电子第五十五研究所 | 发明人 | 陈向真;王绪丰;陈秀敏;王存华;胡斌 |
| 分类号 | G03F7/22 | 主分类号 | G03F7/22 |
| 代理机构 | 江苏省专利事务所 | 代理人 | 徐冬涛;叶立剑 |
| 主权项 | 1、一种大面积步进扫描式曝光机，其特征是在曝光机的光输出窗(3)下方设置边缘递减光校正窗(4)。 | ||
| 地址 | 210016江苏省南京市中山东路524号 | ||