发明名称 用于制造低流量原料蒸气的方法和设备
摘要 一种用于制造制备石英玻璃用的原料蒸气的方法和设备。该设备包括形成流量恒定的液态原料的装置(22),提供喷射气体的装置(24)、混合器(28)、具有喷射入口(34)和喷射口(36)的喷射管(30),使载气流动的装置(26),蒸发室(32)和蒸气原料输送管(38),该输送管将原料蒸气输送至转化段,在该段将其转化成石英玻璃。本发明制得有益的低流量原料蒸气,尤其适用于制造平面光波导和光波光学线路。
申请公布号 CN1264352A 申请公布日期 2000.08.23
申请号 CN98807322.6 申请日期 1998.07.07
申请人 康宁股份有限公司 发明人 M·A·麦克德莫托
分类号 C03B8/00;C03B19/06;C03B20/00 主分类号 C03B8/00
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 白益华
主权项 1.一种制备平面光波导用的原料蒸气的制造方法,它包括下列步骤:形成体积流量小于约0.5ml/min且流量恒定的液态原料流;将该流量恒定的液态原料与喷射气体混合;提供蒸发室;从喷射口射出所述液态原料和喷射气体的混合物进入所述蒸发室中;使载气流经所述喷射口附近,流入由所述喷射口喷出的液态原料和喷射气体的混合物中,进入所述蒸发室;在所述蒸发室中液态原料蒸发成原料蒸气;从所述蒸发室中输出所述原料蒸气;将所述原料蒸气输送至转化段;将所述原料蒸气转化成石英玻璃,制备平面光波导。
地址 美国纽约州