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发明名称 SILICON ETCHING PROCESS FOR MAKING MICROCHANNEL PLATES
摘要
申请公布号 EP0980446(A4) 申请公布日期 2000.08.23
申请号 EP19980921054 申请日期 1998.05.08
申请人 NANOSYSTEMS, INC. 发明人 BEETZ, CHARLES, P., JR.;BOERSTLER, ROBERT, W.;STEINBECK, JOHN;WYNN, DAVID, R.
分类号 H01J9/12;B81B1/00;B81C1/00;C25F3/12;H01J9/02;H01J43/24;H01L21/3063;(IPC1-7):C25D5/34;C25D5/48;C25D9/06 主分类号 H01J9/12
代理机构 代理人
主权项
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