| 发明名称 |
Semiconductor factory automation system and method for controlling measurement equipment to measure semiconductor wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0015837(D0) |
申请公布日期 |
2000.08.23 |
| 申请号 |
GB20000015837 |
申请日期 |
2000.06.28 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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