| 发明名称 |
Air bearing operable in a vacuum region |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0936368(A3) |
申请公布日期 |
2000.08.23 |
| 申请号 |
EP19990101230 |
申请日期 |
1999.01.22 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
SPICER, DENIS;SOGARD, MICHAEL |
| 分类号 |
F16C32/06;F16C33/74;H01L21/683;(IPC1-7):F16C32/06 |
主分类号 |
F16C32/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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