利用激光熔化对晶片接合Al<SUB>x</SUB>Ga<SUB>y</SUB>In<SUB>z</SUB>N结构作厚度调整

摘要

利用晶片接合或金属焊接方法可以获得具有光学通路的光发射器件,例如,垂直谐振腔表面发射器件,检测器件,具有高质量的反射镜。光发射区插入包括电介质配置Bragg反射器(DBRs)的一个或两个反射器叠层。可以淀积或贴合电介质DBRs到光发射器件上。贴合Gap,GaAs,InP,或Si基底到一个电介质DBRs上。把电接点附加到光发射器件。

主权项

1.一种制造AlxGayInzN结构的方法，其包括下列步骤：把基底贴合到第1镜面叠层上；在损耗生长衬底上制造AlxGayInzN结构；形成晶片接合界面；通过激光熔化除掉损耗生长衬底；淀积电接点到AlxGayInzN结构上。