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<p>Eine im ganzen mit (1) bezeichnete Meßeinrichtung zum Untersuchen eines flüssigen oder fließfähigen Mediums (2) weist wenigstens zwei auf einer Substratschicht (3) befindliche, elektrisch und/oder optisch leitfähige Schichten oder Schichtbereiche (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b) auf, die elektrisch und/oder optisch gegeneinander isoliert sind. Wenigstens eine dieser Schichten oder einer dieser Schichtbereiche (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b) ist Teil eines Schichtstapels (4), der mehrere auf der Substratschicht (3) übereinander angeordnete Schichten aufweist. An seiner der Substratschicht (3) abgewandten Seite weist der Schichtstapel eine Ausnehmung auf, die an die elektrisch und/oder optisch leitfähigen Schichten oder Schichtbereiche (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b) angrenzt. Wenigstens eine in dem Schichtstapel (4) befindliche elektrisch und/oder optisch leitfähige Schicht oder der wenigstens eine in dem Schichtstapel befindliche elektrisch und/oder optisch leitfähige Schichtbereich (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b) ist mit Abstand vom Boden (11) der Ausnehmung (10) angeordnet. <IMAGE></p> |
