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发明名称 TEST HEAD STRUCTURE FOR INTEGRATED CIRCUIT TESTER
摘要
申请公布号 EP1029249(A2) 申请公布日期 2000.08.23
申请号 EP19980922484 申请日期 1998.05.22
申请人 CREDENCE SYSTEMS CORPORATION 发明人 HANNERS, JOHN, C.;MILLER, CHARLES, A.;STANFORD, DEAN
分类号 G01R31/26;G01R1/06;G01R31/28;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/319 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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