发明名称 Capacitor for semiconductor memory device and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 GB0015991(D0) 申请公布日期 2000.08.23
申请号 GB20000015991 申请日期 2000.06.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人
分类号 C23C16/40;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
地址