| 发明名称 |
Drying processing method and apparatus using same |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG74629(A1) |
申请公布日期 |
2000.08.22 |
| 申请号 |
SG19980001081 |
申请日期 |
1998.05.15 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
KOMINO MITSUAKI;UCHISAWA OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;H01L21/08;(IPC1-7):F26B21/06;F26B3/06 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
