| 发明名称 |
A process for distributing ultra high purita gases with minimized corrosion |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG74543(A1) |
申请公布日期 |
2000.08.22 |
| 申请号 |
SG19950002380 |
申请日期 |
1995.12.28 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
KIMURA MASAO;TSUKAMOTO TOSHIYUKI;TARUTANI KOHEI |
| 分类号 |
F16L57/00;B01J4/02;B08B3/04;C23G5/00;F16K7/17;F17D1/04;H01L21/205;(IPC1-7):B08B3/04 |
主分类号 |
F16L57/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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