基板用搬运除尘装置(二)

摘要

〔课题〕提供一种基板用搬运除尘装置，不使用吸附用工作台也可确实供给对于吸附力之抵抗力，而且使得可实现装置整体之小形化、构造之简单化、低费用化。〔解决手段〕一种基板用搬运除尘装置系有关于具备具有至少各l个之吸气室及排气室之除尘单元，并使得向除尘单元方向搬运基板后利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气之基板用搬运除尘装置，除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第l吸气室101V和第l排气室101P，而且为了供给搬运中之基板抵抗第l吸气室101V之吸力之抵抗力而使得具备和基板从动转动之辊302等转动体。

主权项

/AIT{1.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1吸气室和第1排气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{2.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{该除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1吸气室和隔着第1吸气室之第1.第2排气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{3.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{该除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1排气室和隔着第1排气室之第1.第2吸气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{4.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{该除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1吸气室和第1排气室,并在经过了第1吸气室之搬运路径之对面侧配置令负压作用于基板之背面之第2吸气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1.第2吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{5.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{该除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1吸气室和隔着第1吸气室之第1.第2排气室,并在经过了该第1吸气室之搬运路径之对面侧配置令负压作用于基板之背面之第2吸气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1.第2吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{6.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{该除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1排气室和隔着第1排气室之第1.第2吸气室,并在经过了该第1.第2吸气室之搬运路径之对面侧各自配置令负压作用于基板之背面之第3.第4吸气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1.第2.第3.第4吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{7.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{该除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1吸气室和隔着第1吸气室之第1.第2排气室,并在经过了该第1吸气室和该第1.第2排气室之搬运路径之对面侧配置第2吸气室和隔着第2吸气室之第3.第4排气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1及第2吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{8.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{该除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1排气室和隔着第1排气室之第1.第2吸气室,并在经过了该第1排气室和该第1.第2吸气室之搬运路径之对面侧配置第2排气室和隔着第2排气室之第3.第4吸气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1.第2.第3.第4吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{9.一种基板用搬运除尘装置,具备具有至少各1个之吸气室及排气室之除尘单元,向除尘单元方向搬运基板,使得利用吸气室吸令自排气室向基板表面喷出之洁净空气,}/ait{其特征在于:}/ait{该除尘单元沿着基板搬运方向排列配置第1排气室和隔着第1排气室之第1.第2吸气室,并在经过了该第1排气室之搬运路径之对面侧配置令负压作用于基板之背面之第3吸气室,而且为了供给搬运中之基板抵抗该第1.第2.第3吸气室之吸力之抵抗力而具备和基板从动转动之转动体。}/AIT{10.如申请专利范围第1.2.3.4.5.6.7.8或9项之基板用搬运除尘装置,其中该转动体只碰触基板之侧部附近转动。}/tt第一图系表示本发明之实施例1之概略之侧视图。第二图系表示本发明之实施例1之概略之立体图。第三图系表示本发明之实施例1之概略之正视图。第四图系表示本发明之实施例2之概略之侧视图。第五图系表示本发明之实施例3之概略之侧视图。第六图系表示本发明之实施例4之概略之侧视图。第七图系表示本发明之实施例5之概略之侧视图。第八图系表示本发明之实施例6之概略之侧视图。第九图系表示本发明之实施例7之概略之侧视图。第十图系表示本发明之实施例8之概略之侧视图。第十一图系表示本发明之实施例9之概略之侧视图。第十二图系表示习知技术之概略之侧视图。