METHOD OF REGULATING A HIGH TEMPERATURE GASEOUS PHASE PROCESS AND USE OF SAID METHOD

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Regelung eines Hochtemperatur-Gasphasen-Prozesses wie CVD oder CVI unter Zugrundelegung von mittels Infrarot-Spektroskopie ermittelter Messkurve, die zumindest einen für die Regelung des Prozesses charakteristischen vom Untergrund der Messkurve abweichenden Spektralbereich aufweist. Um Hochtemperatur-Gasphasen-Prozesse auch bei sich während des Prozesses ändernden Temperaturen optimal und schnell regeln zu können, wird vorgeschlagen, dass unmittelbar aus der Messkurve unter Zugrundelegung von Anfangs- und Endwerten des charakteristischen Spektralbereichs eine Gerade berechnet wird und durch Integration des Spektralbereichs über der Geraden oder durch Bestim mung von maximaler Höhe des Spektralbereichs über der Geraden oder unter Zugrundelegung einer anderen charakteristischen Grösse des Spektralbereichs zu der Geraden die Regelung des Prozesses erfolgt.