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Das neue Verfahren zur Herstellung von reiner Flußsäure bzw. reinem Fluorwasserstoff ist dadurch gekennzeichnet, daß nach destillativer/oxidativer Vorbehandlung eine zweistufige Wäsche mit 65 bzw. 90 Gew.-%iger Flußsäure bzw. 90 bis 100 Gew.-%iger Flußsäure durchgeführt wird, wobei durch Einspeisen von Wasser in den ersten oder zweiten Waschkreislauf und Ausspeisen einer entsprechenden Menge Flußsäure Verunreinigungen entfernt werden.
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