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发明名称
POLYOL-BASED PRECURSORS FOR NANOPOROUS SILICA THIN FILMS
摘要
申请公布号
EP1027356(A1)
申请公布日期
2000.08.16
申请号
EP19980953977
申请日期
1998.10.26
申请人
ALLIEDSIGNAL INC.
发明人
WALLACE, STEPHEN;DRAGE, JAMES;RAMOS, TERESA;SMITH, DOUGLAS, M.
分类号
C01B33/12;C01B37/02;C07F7/04;C09D4/00;H01L21/208;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):C07F7/04;C07F7/18;C09D183/04;C01B13/32
主分类号
C01B33/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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