发明名称 PZT CAPACITOR AS INTEGRATED CIRCUIT MEMORY ELEMENT AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100264368(B1) 申请公布日期 2000.08.16
申请号 KR19910022573 申请日期 1991.12.10
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 LEE, KAMMERDINER;WILLIAM, LARSON;STEVE D. TRAYNOR;PAUL J. SCHUELE
分类号 H01L27/04;H01G4/224;H01G7/06;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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