发明名称 |
PZT CAPACITOR AS INTEGRATED CIRCUIT MEMORY ELEMENT AND METHOD OF FABRICATING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100264368(B1) |
申请公布日期 |
2000.08.16 |
申请号 |
KR19910022573 |
申请日期 |
1991.12.10 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORPORATION |
发明人 |
LEE, KAMMERDINER;WILLIAM, LARSON;STEVE D. TRAYNOR;PAUL J. SCHUELE |
分类号 |
H01L27/04;H01G4/224;H01G7/06;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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