| 摘要 |
<p>본 고안은 다수의 포지셔너로 여러개의 테스트 패턴을 동시에 측정할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼 제조장비의 멀티 포지셔너 프로빙 장치에 관한 것이다. 수동 포지셔너의 이동 및 척의 이동 그리고 프로빙 팁의 조절 등의 모든 작업을 개개의 테스트 패턴을 따라 하나 또는 두 개씩 계속 반복적으로 측정해야만 되므로 그 작업이 번거롭고 어려울 뿐만 아니라 많은 시간과 노력으로 작업의 비효율성을 초래하는 문제점이 있었다. 또한 플레이트의 면적이 좁아 진공에 의한 수동 포지셔너의 고정이 용이하지 않을 뿐만 아니라 프로빙의 정확성이 결여되는 문제점이 있었다. 따라서 본 고안은 베이스 상에 설치되는 다수의 포지셔너와; 상기 다수의 포지셔너를 동심원상의 방사형태로 지지하는 원형의 서큘러 포지셔너 플레이트와; 상기 서큘러 포지셔너 플레이트의 중심부에 위치하여 웨이퍼를 로딩하는 척과; 상기 포지셔너에 설치되고, 프로빙 팁을 포지셔너 플레이트로부터 웨이퍼 상의 테스트 패턴까지 지지하면서 이동시키는 포지셔너 홀더와; 상기 포지셔너에 설치되고, 포지셔너 홀더를 회전조작 및 스프링의 탄성력으로 전.후 이동시키는 전.후이동수단과; 상기 포지셔너에 설치되고, 포지셔너 홀더를 회전조작 및 스프링의 탄성력으로 전.후 이동시키는 상.하이동수단과; 상기 포지셔너에 설치되고, 포지셔너 홀더를 회전조작 및 스프링의 탄성력으로 좌.우 이동시키는 좌.우이동수단으로 구성함으로써 작업시간을 대폭 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 작업이 간편하게 이루어져 작업의 효율성을 증대시킬 수 있는 효과를 갖게 된다. 또한 이동폭이 넓고 이동이 자유롭게 이루어질 뿐만 아니라 플레이트가 차지하는 면적이 축소됨으로써 프로빙의 정확성 및 기기의 소형화를 기할 수 있는 효과를 갖게 된다. 그리고 포지셔너를 진공으로 고정시키기 위한 별도의 버큠장비가 불필요하게 되어 비용절감 효과를 가져오는 이점이 있다.</p> |
