EXHAUST GAS RECYCLE APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER DEPOSITOR
摘要
<p>본 고안은 반도체 웨이퍼 증착장비의 배기가스 재공급장치에 관한 것으로, 배기라인(17)과 가스주입관(16)을 연결하는 연결라인(20)을 설치하고, 그 연결라인(20)의 후단부에 운반가스주입관(21)을 설치하여, 배기라인(17)을 통하여 배기되는 배기가스가 연결라인(20)을 통하여 가스주입관(16)으로 재공급되도록 함으로서, 배기가스중에 포함되어 있는 미반응가스를 재활용하게되어 제조원가를 절감하는 효과가 있다.</p>
